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0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳模擬及其研究

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交通大學應用化學研究所

0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳模擬及其研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	龍文安
其他團體作者:	交通大學應用化學研究所
出版地:	台北市
出版者:	科學技術資料中心;
面頁冊數:	7頁 : 11x15公分;
標題:	應用化學 -
附註:	NSC84-2215-E009-051

0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳模擬及其研究
龍文安

0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳模擬及其研究 / 龍文安 ; 交通大學應用化學研究所 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 7頁 ; 11x15公分.
NSC84-2215-E009-051.
應用化學

0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳模擬及其研究
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804660000000101

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 660 0203

1.一般(Normal)

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