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乾式離子蝕刻真空腔中鋁合金陽極處理膜之破損研究

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劉乃瑋

乾式離子蝕刻真空腔中鋁合金陽極處理膜之破損研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	劉乃瑋
其他團體作者:	清華大學材料科學工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	114頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0002-873558

乾式離子蝕刻真空腔中鋁合金陽極處理膜之破損研究
劉乃瑋

乾式離子蝕刻真空腔中鋁合金陽極處理膜之破損研究 / 劉乃瑋撰 ; 清華大學材料科學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 114頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873558.
工程材料

乾式離子蝕刻真空腔中鋁合金陽極處理膜之破損研究
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000834

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 7211-A V1

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833440300000835

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3.不外借

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MF 440.3 7211-A V2

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