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氮化矽薄膜之場致氧化機制及應用

~

林淑雯

氮化矽薄膜之場致氧化機制及應用

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林淑雯
其他團體作者:	清華大學物理所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	62頁 : 11x15公分;
標題:	物理 -
附註:	MOE88-0002-873368

氮化矽薄膜之場致氧化機制及應用
林淑雯

氮化矽薄膜之場致氧化機制及應用 / 林淑雯撰 ; 清華大學物理所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 62頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873368.
物理

氮化矽薄膜之場致氧化機制及應用
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833330000000503

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3.不外借

微縮資料

MF 330 4431

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