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游離物理氣相沉積系統的電漿特性

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清華大學物理所

游離物理氣相沉積系統的電漿特性

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳品衡
其他團體作者:	清華大學物理所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	58頁 : 11x15公分;
標題:	物理 -
附註:	MOE88-0002-873362

游離物理氣相沉積系統的電漿特性
陳品衡

游離物理氣相沉積系統的電漿特性 / 陳品衡撰 ; 清華大學物理所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 58頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873362.
物理

游離物理氣相沉積系統的電漿特性
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833330000000499

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 330 7562

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