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300mm晶圓電感式電漿蝕刻機台之研製與電漿特性量測分析

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張家豪

300mm晶圓電感式電漿蝕刻機台之研製與電漿特性量測分析

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	張家豪
其他團體作者:	清華大學工程與系統科學所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	106頁 : 11x15公分;
標題:	工程與系統科學 -
附註:	MOE88-0002-863124

300mm晶圓電感式電漿蝕刻機台之研製與電漿特性量測分析
張家豪

300mm晶圓電感式電漿蝕刻機台之研製與電漿特性量測分析 / 張家豪撰 ; 清華大學工程與系統科學所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 106頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-863124.
工程與系統科學

300mm晶圓電感式電漿蝕刻機台之研製與電漿特性量測分析
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440000001147

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440 1130-A V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833440000001148

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 440 1130-A V2

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