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以微波電漿輔助cvd 法於矽晶成長異質磊晶鑽石膜及其界面鑑定

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清華大學材料科學工程所

以微波電漿輔助cvd 法於矽晶成長異質磊晶鑽石膜及其界面鑑定

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	郭行健
其他團體作者:	清華大學材料科學工程所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	148頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0002-817506-D

以微波電漿輔助cvd 法於矽晶成長異質磊晶鑽石膜及其界面鑑定
郭行健

以微波電漿輔助cvd 法於矽晶成長異質磊晶鑽石膜及其界面鑑定 / 郭行健撰 ; 清華大學材料科學工程所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 148頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-817506-D.
工程材料

以微波電漿輔助cvd 法於矽晶成長異質磊晶鑽石膜及其界面鑑定
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210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 $d 1999
215 $a 148頁 $d 11x15公分
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700 $a 郭行健 $4 撰 $3 88629
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000738

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 0722 V1

1.一般(Normal)

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833440300000739

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 0722 V2

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