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反應性射頻濺鍍高c軸排向氮化鋁薄膜之研究及其元件應用(ii)

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國立中山大學電機工程學系

反應性射頻濺鍍高c軸排向氮化鋁薄膜之研究及其元件應用(ii)

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳英忠
其他團體作者:	國立中山大學電機工程學系
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	69頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	NSC86-2216-E110-019

反應性射頻濺鍍高c軸排向氮化鋁薄膜之研究及其元件應用(ii)
陳英忠

反應性射頻濺鍍高c軸排向氮化鋁薄膜之研究及其元件應用(ii) / 陳英忠撰 ; 國立中山大學電機工程學系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 69頁 ; 11x15公分.
NSC86-2216-E110-019.
電機工程

反應性射頻濺鍍高c軸排向氮化鋁薄膜之研究及其元件應用(ii)
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804448000001590

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448 7545-3

1.一般(Normal)

在架

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