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dsmc法模擬macrocavity內化學氣相沉積膜厚分佈

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國立台灣科技大學化學工程系

dsmc法模擬macrocavity內化學氣相沉積膜厚分佈

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	蔡大翔
其他團體作者:	國立台灣科技大學化學工程系
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	177頁 : 11x15公分;
標題:	化學工程 -
附註:	NSC86-2214-E011-013

dsmc法模擬macrocavity內化學氣相沉積膜厚分佈
蔡大翔

dsmc法模擬macrocavity內化學氣相沉積膜厚分佈 / 蔡大翔撰 ; 國立台灣科技大學化學工程系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 177頁 ; 11x15公分.
NSC86-2214-E011-013.
化學工程

dsmc法模擬macrocavity內化學氣相沉積膜厚分佈
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

804460000001758

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 460 4448-2 V1

1.一般(Normal)

在架

0

804460000001759

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 460 4448-2 V2

1.一般(Normal)

在架

0

2 筆 • 頁數 1 •
1

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