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氟原子蝕刻矽的反應動力研究

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國立台灣科技大學化學工程系

氟原子蝕刻矽的反應動力研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	李嘉平
其他團體作者:	國立台灣科技大學化學工程系
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	64頁 : 11x15公分;
標題:	化學工程 -
附註:	NSC86-2214-E011-012

氟原子蝕刻矽的反應動力研究
李嘉平

氟原子蝕刻矽的反應動力研究 / 李嘉平撰 ; 國立台灣科技大學化學工程系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 64頁 ; 11x15公分.
NSC86-2214-E011-012.
化學工程

氟原子蝕刻矽的反應動力研究
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020320

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804460000001757

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 460 4041-A3

1.一般(Normal)

在架

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