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半導體製程設備步進器定位機構研發總計畫(1/3)
~
傅立成
半導體製程設備步進器定位機構研發總計畫(1/3)
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
傅立成
其他團體作者:
國立台灣大學電機工程學系(所)
出版地:
台北市
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:
178頁 : 11x15公分;
標題:
電機工程 -
附註:
NSC85-2213-E002-040
半導體製程設備步進器定位機構研發總計畫(1/3)
傅立成
半導體製程設備步進器定位機構研發總計畫(1/3)
/ 傅立成 撰 ; 國立台灣大學電機工程學系(所) - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 178頁 ; 11x15公分.
NSC85-2213-E002-040.
電機工程
半導體製程設備步進器定位機構研發總計畫(1/3)
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20020130
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
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附件
804448000001300
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3.不外借
微縮資料
MF 448 2305 V1
1.一般(Normal)
在架
0
804448000001301
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 448 2305 V2
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在架
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