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均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估

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逢甲大學材料科學所

均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	黃獻慶
其他團體作者:	逢甲大學材料科學所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	156頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-1007-M8705357

均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
黃獻慶

均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估 / 黃獻慶撰 ; 逢甲大學材料科學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 156頁 ; 11x15公分.
MOE88-1007-M8705357.
工程材料

均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
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215 $a 156頁 $d 11x15公分
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300001079

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MF 440.3 4420-B V1

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833440300001080

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