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鉭基氮化物擴散阻礙層在銅與矽鍺合金間阻礙機制之研究

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中山大學材料科學所

鉭基氮化物擴散阻礙層在銅與矽鍺合金間阻礙機制之研究

纪录类型:	[NT 13] Microfilm : 单行本
作者:	許宗賢
其他团体作者:	中山大學材料科學所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面页册数:	102頁 : 11x15公分;
标题:	工程材料 -
附注:	MOE88-0009-8736609

鉭基氮化物擴散阻礙層在銅與矽鍺合金間阻礙機制之研究
許宗賢

鉭基氮化物擴散阻礙層在銅與矽鍺合金間阻礙機制之研究 / 許宗賢撰 ; 中山大學材料科學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 102頁 ; 11x15公分.
MOE88-0009-8736609.
工程材料

鉭基氮化物擴散阻礙層在銅與矽鍺合金間阻礙機制之研究
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馆藏

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典藏地名称

馆藏流通类别

833440300001047

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 0837 V1

1.一般(Normal)

[NT 15000103] null

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833440300001048

三樓視聽資料區

3.不外借

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