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銅/低介電常數材料導線嵌刻製程整合關鍵技術之研究

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交通大學電子工程所

銅/低介電常數材料導線嵌刻製程整合關鍵技術之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林建興
其他團體作者:	交通大學電子工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	88頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0007-8711507

銅/低介電常數材料導線嵌刻製程整合關鍵技術之研究
林建興

銅/低介電常數材料導線嵌刻製程整合關鍵技術之研究 / 林建興撰 ; 交通大學電子工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 88頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8711507.
電子工程

銅/低介電常數材料導線嵌刻製程整合關鍵技術之研究
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600001002

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448.6 4417-B

1.一般(Normal)

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