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以電鍍方式沈積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究
~
高武群
以電鍍方式沈積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
高武群
出版地:
台北巿
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
125頁 :
標題:
化學工程 -
附註:
MOE87-1004-8671007;鄭俊麟,張鼎張 指導教授
以電鍍方式沈積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究
高武群
以電鍍方式沈積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究
/ 高武群 撰 - 台北巿 : 國科會科學技術資料中心 - 125頁.
MOE87-1004-8671007;鄭俊麟,張鼎張 指導教授.
化學工程
以電鍍方式沈積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究
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20010205
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
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833460000000846
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3.不外借
微縮資料
MF 460 0011 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833460000000847
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 460 0011 V2
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