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矽晶片研磨損傷及磊晶成長之研究

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謝明雄

矽晶片研磨損傷及磊晶成長之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	謝明雄
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	105頁 :
標題:	工程材料 -
附註:	MOE87-0006-78666006;歐陽浩指導教授

矽晶片研磨損傷及磊晶成長之研究
謝明雄

矽晶片研磨損傷及磊晶成長之研究 / 謝明雄撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 105頁.
MOE87-0006-78666006;歐陽浩指導教授.
工程材料

矽晶片研磨損傷及磊晶成長之研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000563

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 0464 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833440300000564

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 0464 V2

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