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研磨粉體對二氧化矽與鋁薄膜之化學機械研磨特性研究
~
羅先慶
研磨粉體對二氧化矽與鋁薄膜之化學機械研磨特性研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
羅先慶
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
115頁 :
標題:
工程材料 -
附註:
MOE89-0007-8618529；涂肇嘉，蔡明蒔 指導教授
研磨粉體對二氧化矽與鋁薄膜之化學機械研磨特性研究
羅先慶
研磨粉體對二氧化矽與鋁薄膜之化學機械研磨特性研究
/ 羅先慶 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 115頁.
MOE89-0007-8618529；涂肇嘉，蔡明蒔 指導教授.
工程材料
研磨粉體對二氧化矽與鋁薄膜之化學機械研磨特性研究
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20010131
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
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資料類型
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833440300000521
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微縮資料
MF 440.3 6020 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833440300000522
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 440.3 6020 V2
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