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以pecvd成長之氧氮化矽薄膜的特性及以氧氮化矽薄膜取代氮化矽/二氧化矽...

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陳建維

以pecvd成長之氧氮化矽薄膜的特性及以氧氮化矽薄膜取代氮化矽/二氧化矽結構之可行性研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳建維
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	95頁 :
標題:	化學工程 -
附註:	MOE87-0102-M8606007;李嘉平指導教授

以pecvd成長之氧氮化矽薄膜的特性及以氧氮化矽薄膜取代氮化矽/二氧化矽結構之可行性研究
陳建維

以pecvd成長之氧氮化矽薄膜的特性及以氧氮化矽薄膜取代氮化矽/二氧化矽結構之可行性研究 / 陳建維撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 95頁.
MOE87-0102-M8606007;李嘉平指導教授.
化學工程

以pecvd成長之氧氮化矽薄膜的特性及以氧氮化矽薄膜取代氮化矽/二氧化矽結構之可行性研究
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200 1 $a 以pecvd成長之氧氮化矽薄膜的特性及以氧氮化矽薄膜取代氮化矽/二氧化矽結構之可行性研究 $f 陳建維撰
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
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300 $a MOE87-0102-M8606007;李嘉平指導教授
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700 $a 陳建維 $4 撰 $3 17183
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010130

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833460000000773

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3.不外借

微縮資料

MF 460 7512-A

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