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在銅導線製程以氮化鉭薄膜做為擴散屏障之可行性評估
~
林坤龍
在銅導線製程以氮化鉭薄膜做為擴散屏障之可行性評估
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
林坤龍
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
163頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE87-0002-G863577; 杜正恭 指導教授
在銅導線製程以氮化鉭薄膜做為擴散屏障之可行性評估
林坤龍
在銅導線製程以氮化鉭薄膜做為擴散屏障之可行性評估
/ 林坤龍 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 163頁 ; 11x15公分.
MOE87-0002-G863577; 杜正恭 指導教授.
工程材料
在銅導線製程以氮化鉭薄膜做為擴散屏障之可行性評估
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20001121
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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833440300000389
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MF 440.3 4440 V1
1.一般(Normal)
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833440300000390
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3.不外借
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MF 440.3 4440 V2
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