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三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究

~

余志誠

三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	余志誠
其他作者:	邱俊誠
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	109頁 : 11x15公分;
標題:	電機與控制工程 -
附註:	MOE86-0007-8512550

三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
余志誠

三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究 / 余志誠撰 ; 邱俊誠指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 109頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8512550.
電機與控制工程

邱俊誠

三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究
LDR:00406nhm 2200133 450 001 106234
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101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究 $f 余志誠撰 $g 邱俊誠指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 109頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0007-8512550
606 $a 電機與控制工程 $3 95525
700 $a 余志誠 $4 撰 $3 95541
702 $a 邱俊誠 $4 指導 $3 64286
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000525

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448000000448

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448 8040 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833448000000449

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448 8040 V2

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

2 筆 • 頁數 1 •
1

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