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以堆疊鎢膜結構抑制氟雜質穿透所導致的介電損害之研究

~

張國明

以堆疊鎢膜結構抑制氟雜質穿透所導致的介電損害之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林弘毅
其他作者:	張國明
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	85頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE86-0007-8511511

以堆疊鎢膜結構抑制氟雜質穿透所導致的介電損害之研究
林弘毅

以堆疊鎢膜結構抑制氟雜質穿透所導致的介電損害之研究 / 林弘毅撰 ; 張國明指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 85頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8511511.
電子工程

張國明

以堆疊鎢膜結構抑制氟雜質穿透所導致的介電損害之研究
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200 1 $a 以堆疊鎢膜結構抑制氟雜質穿透所導致的介電損害之研究 $f 林弘毅撰 $g 張國明指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 85頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0007-8511511
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700 $a 林弘毅 $4 撰 $3 94347
702 $a 張國明 $4 指導 $3 36649
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000525

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000236

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448.6 4410

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