電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electric...
清華大學材料科學工程研究所

 

  • 電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electrical characterization of thermally annealed silicon films prepa
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 甘炯耀
    其他團體作者: 清華大學材料科學工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    面頁冊數: 67頁 : 11x15公分;
    附註: NSC84-2215-E007-014
館藏
  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
804348600000007 三樓視聽資料區 3.不外借 微縮資料 MF 348.6 4477 1.一般(Normal) 在架 0
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