利用化學氣相積中加入雙氯矽甲烷改善鎢矽化合物對mos氧化層電性影響之研究...
成功大學電機工程學系

 

  • 利用化學氣相積中加入雙氯矽甲烷改善鎢矽化合物對mos氧化層電性影響之研究=improvement of flourine effect on mos oxide qualit
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 方炎坤
    其他團體作者: 成功大學電機工程學系
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    面頁冊數: 20頁 : 11x15公分;
    附註: NSC852215E006018
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804448650000006 三樓視聽資料區 3.不外借 微縮資料 MF 448.65 0022 1.一般(Normal) 在架 0
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