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dsmc模擬化學氣相沉積溝槽內之厚膜=direct simulation...

台灣科技大學化學工程技術系

dsmc模擬化學氣相沉積溝槽內之厚膜=direct simulation monte carlo (dsmc) of film thickness in trench by chemical vapor depo

dsmc模擬化學氣相沉積溝槽內之厚膜=direct simulation monte carlo (dsmc) of film thickness in trench by chemical vapor depo
蔡大翔

dsmc模擬化學氣相沉積溝槽內之厚膜=direct simulation monte carlo (dsmc) of film thickness in trench by chemical vapor depo / 蔡大翔 ; 台灣科技大學化學工程技術系 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 223頁 ; 11x15公分.
NSC852214E011012.

dsmc模擬化學氣相沉積溝槽內之厚膜=direct simulation monte carlo (dsmc) of film thickness in trench by chemical vapor depo
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