超大型積體電路的鋁合金導線良率和電遷移研究 - 子計畫二:利用afm/s...
甘炯耀

 

  • 超大型積體電路的鋁合金導線良率和電遷移研究 - 子計畫二:利用afm/stm直接觀察鋁合金導線的電遷移(i)=afm/st direct ...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 甘炯耀
    其他作者: 黃振昌
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1996
    面頁冊數: 11x15公分;
    附註: NSC83-0404-E007-031
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  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
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