鐵電陶瓷微感測元件之微細加工-微波電漿法蒸鍍微元件用鈦酸鉛系 列鐵電薄膜...
劉國雄

 

  • 鐵電陶瓷微感測元件之微細加工-微波電漿法蒸鍍微元件用鈦酸鉛系 列鐵電薄膜=microwave plasma method deposited pt series ...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    其他作者: 劉國雄
    團體作者: 清華大學材料科學工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1994
    面頁冊數: 64頁 : 11x15公分;
    附註: NSC83-0405-E007-004
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  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
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