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高速熱處理中晶圓溫度均勻性之探討=temperature uniform...
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元智工學院機械工程學系
高速熱處理中晶圓溫度均勻性之探討=temperature uniformity during rapid thermal processing
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
其他作者:
林育才
團體作者:
元智工學院機械工程學系
出版地:
台北市
出版者:
科學技術資料中心;
出版年:
1994
面頁冊數:
139頁 : 11x15公分;
附註:
NSC83-0401-E155-016
高速熱處理中晶圓溫度均勻性之探討=temperature uniformity during rapid thermal processing
元智工學院機械工程學系
高速熱處理中晶圓溫度均勻性之探討=temperature uniformity during rapid thermal processing
/ 元智工學院機械工程學系 ; 林育才 著 - 台北市 : 科學技術資料中心, 1994. - 139頁 ; 11x15公分.
NSC83-0401-E155-016.
林育才
高速熱處理中晶圓溫度均勻性之探討=temperature uniformity during rapid thermal processing
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TW
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大葉大學
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19960718
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全部
三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
804446000000262
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3.不外借
微縮資料
MF 446 XXXX V1
1.一般(Normal)
在架
0
804446000000263
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 446 XXXX V2
1.一般(Normal)
在架
0
2 筆 • 頁數 1 •
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