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超大型積體電路多層配導線間含氟絕緣膜之開發研究

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國立交通大學電子工程學系

超大型積體電路多層配導線間含氟絕緣膜之開發研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	葉清發
其他團體作者:	國立交通大學電子工程學系
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	145頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	NSC85-2215-E009-057

超大型積體電路多層配導線間含氟絕緣膜之開發研究
葉清發

超大型積體電路多層配導線間含氟絕緣膜之開發研究 / 葉清發撰 ; 國立交通大學電子工程學系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 145頁 ; 11x15公分.
NSC85-2215-E009-057.
電子工程

超大型積體電路多層配導線間含氟絕緣膜之開發研究
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215 $a 145頁 $d 11x15公分
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

804621381000346

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 621.381 4431 V1

1.一般(Normal)

在架

0

804621381000347

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 621.381 4431 V2

1.一般(Normal)

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0

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