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晶圓輸送機械手臂之動力學分析、運動控制及軌跡規劃研究

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中原大學機械工程所

晶圓輸送機械手臂之動力學分析、運動控制及軌跡規劃研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	劉宗揚
其他團體作者:	中原大學機械工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	123頁 : 11x15公分;
標題:	機械工程 -
附註:	MOE88-1004-8773048

晶圓輸送機械手臂之動力學分析、運動控制及軌跡規劃研究
劉宗揚

晶圓輸送機械手臂之動力學分析、運動控制及軌跡規劃研究 / 劉宗揚撰 ; 中原大學機械工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 123頁 ; 11x15公分.
MOE88-1004-8773048.
機械工程

晶圓輸送機械手臂之動力學分析、運動控制及軌跡規劃研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833446000002668

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 446 7235-B V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833446000002669

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 446 7235-B V2

1.一般(Normal)

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0

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