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銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究

~

交通大學材料科學與工程所

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究

纪录类型:	[NT 13] Microfilm : 单行本
作者:	許順發
其他团体作者:	交通大學材料科學與工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面页册数:	86頁 : 11x15公分;
标题:	工程材料 -
附注:	MOE88-0007-8718511

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究
許順發

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究 / 許順發撰 ; 交通大學材料科學與工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 86頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8718511.
工程材料

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究
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馆藏

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典藏地名称

馆藏流通类别

833440300001003

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440.3 0821-A

1.一般(Normal)

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