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射頻磁控濺鍍法在矽晶片上沉積三元si-c-n薄膜及其特性分析

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交通大學材料科學與工程所

射頻磁控濺鍍法在矽晶片上沉積三元si-c-n薄膜及其特性分析

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	王孝義
其他團體作者:	交通大學材料科學與工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	90頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0007-8718509

射頻磁控濺鍍法在矽晶片上沉積三元si-c-n薄膜及其特性分析
王孝義

射頻磁控濺鍍法在矽晶片上沉積三元si-c-n薄膜及其特性分析 / 王孝義撰 ; 交通大學材料科學與工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 90頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8718509.
工程材料

射頻磁控濺鍍法在矽晶片上沉積三元si-c-n薄膜及其特性分析
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215 $a 90頁 $d 11x15公分
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300001001

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3.不外借

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MF 440.3 1048

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