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Lithography process control
~
Levinson Harry J.
Lithography process control
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
書名/作者:
Lithography process control/ Levinson, Harry J.
作者:
Levinson Harry J.
出版者:
Bellingham, WA : SPIE Optical Engineering Press, 1999
面頁冊數:
190頁; 26x18公分
標題:
Semiconductors-Etching
標題:
Microlithography-Quality contr
ISBN:
0819430528(平裝)
ISBN:
9780819430526(平裝)
Lithography process control
Levinson Harry J.
Lithography process control
Levinson, Harry J. - 1st ed - Bellingham, WASPIE Optical Engineering Press1999 - 190頁26x18公分 - Tutorial texts in optical engineeringTT28.
ISBN: 0819430528(平裝)新台幣1547Subjects--Topical Terms:
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四樓西文圖書區
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801621381500683
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1.圖書流通
圖書
621.3815 L578-A1
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