| 紀錄類型: |
書目-語言資料,印刷品
: Monograph/item
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| 書名/作者: |
Silicon micromachining/ Elwenspoek,M.;Jansen,H. |
| 作者: |
ElwenspoekM. |
| 其他作者: |
JansenH. |
| 出版者: |
New York : Cambridge University Press, 1998 |
| 面頁冊數: |
405頁; 29x19公分 |
| 標題: |
Silicon. |
| 標題: |
Micromachining. |
| 標題: |
Etching. |
| ISBN: |
052159054X(精裝) |