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Particle control for semiconductor m...

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DonovanR.P.

Particle control for semiconductor manufacturing

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
書名/作者:	Particle control for semiconductor manufacturing/ Donovan,R.P.
作者:	DonovanR.P.
出版者:	New York : Marcel Dekker, 1990
面頁冊數:	464頁; 26x18公分
標題:	Semiconductros-Design and...
標題:	Semiconductors-Defects
標題:	Particles
ISBN:	0824782429(精裝)

Particle control for semiconductor manufacturing
DonovanR.P.

Particle control for semiconductor manufacturingDonovan,R.P. - New YorkMarcel Dekker1990 - 464頁26x18公分

ISBN: 0824782429(精裝)Subjects--Topical Terms:

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Semiconductros-Design and...

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

801621381500069

四樓西文圖書區

1.圖書流通

圖書

621.3815 D719

1.一般(Normal)

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