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Applications of plasma processes to ...
~
Sugano, Takuo
Applications of plasma processes to vlsi technology
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
書名/作者:
Applications of plasma processes to vlsi technology/ Sugano, Takuo
作者:
Sugano, Takuo
出版者:
New York : John Wiley & Sons, Ltd., 1985
面頁冊數:
394頁; 24x16公分
標題:
Semiconductors-Etching
標題:
Integrated circuits-Very...
標題:
Plasma etching
ISBN:
0471869600(精裝)
Applications of plasma processes to vlsi technology
Sugano, Takuo
Applications of plasma processes to vlsi technology
Sugano, Takuo - New YorkJohn Wiley & Sons, Ltd.1985 - 394頁24x16公分
ISBN: 0471869600(精裝)Subjects--Topical Terms:
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Applications of plasma processes to vlsi technology
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四樓西文圖書區
館藏
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801621381700089
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1.圖書流通
圖書
621.3817 SU32
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