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Handbook of plasma processing techno...
~
CuomoJerome J. editor
Handbook of plasma processing technology:fundamentals,etching,deposition,and surface interactions
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
書名/作者:
Handbook of plasma processing technology:fundamentals,etching,deposition,and surface interactions/ Cuomo,Jerome J. editor;Rossnagel,Stephen M. editor;Westwood,William D.,1937-
作者:
CuomoJerome J. editor
其他作者:
RossnagelStephen M. editor
出版者:
New Jersey : Noyes Publications, 1996
面頁冊數:
523頁; 24x16公分
標題:
Plasma engineering
標題:
Semiconductors-Etching
標題:
Plasma etching
ISBN:
0815512201(精裝)
Handbook of plasma processing technology:fundamentals,etching,deposition,and surface interactions
CuomoJerome J. editor
Handbook of plasma processing technology:fundamentals,etching,deposition,and surface interactions
Cuomo,Jerome J. editor;Rossnagel,Stephen M. editor;Westwood,William D.,1937- - New JerseyNoyes Publications1996 - 523頁24x16公分
ISBN: 0815512201(精裝)Subjects--Topical Terms:
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Plasma engineering
Handbook of plasma processing technology:fundamentals,etching,deposition,and surface interactions
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四樓西文圖書區
館藏
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1
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801621044000005
四樓西文圖書區
1.圖書流通
圖書
621.044 R737
1.一般(Normal)
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