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二氧化碳雷射輔助電漿激發式化學氣相沈積氮化矽

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趙國駿

二氧化碳雷射輔助電漿激發式化學氣相沈積氮化矽

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	趙國駿
出版地:	台北巿
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	64頁 :
標題:	光電科學 -
附註:	MOE87-0008-86226025;劉海北指導教授

二氧化碳雷射輔助電漿激發式化學氣相沈積氮化矽
趙國駿

二氧化碳雷射輔助電漿激發式化學氣相沈積氮化矽 / 趙國駿撰 - 台北巿 : 國科會科學技術資料中心 - 64頁.
MOE87-0008-86226025;劉海北指導教授.
光電科學

二氧化碳雷射輔助電漿激發式化學氣相沈積氮化矽
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010209

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448878000129

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448.878 4967

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