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深次微米元件之低介電常數velox(pae-3)及sol-gel介電薄膜製程研究
~
李俊銘
深次微米元件之低介電常數velox(pae-3)及sol-gel介電薄膜製程研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
李俊銘
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
106頁 :
標題:
電子與資訊 -
附註:
MOE87-0115-G8613725;林堅揚,張鼎張 指導教授
深次微米元件之低介電常數velox(pae-3)及sol-gel介電薄膜製程研究
李俊銘
深次微米元件之低介電常數velox(pae-3)及sol-gel介電薄膜製程研究
/ 李俊銘 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 106頁.
MOE87-0115-G8613725;林堅揚,張鼎張 指導教授.
電子與資訊
深次微米元件之低介電常數velox(pae-3)及sol-gel介電薄膜製程研究
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20010131
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
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833448870000079
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微縮資料
MF 448.87 4028 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833448870000080
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微縮資料
MF 448.87 4028 V2
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