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晶圓製造廠微影光區再加工策略之探討

~

陳冠任

晶圓製造廠微影光區再加工策略之探討

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳冠任
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	72頁 :
標題:	工業工程 -
附註:	MOE87-0007-8533522;沙永傑指導教授

晶圓製造廠微影光區再加工策略之探討
陳冠任

晶圓製造廠微影光區再加工策略之探討 / 陳冠任撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 72頁.
MOE87-0007-8533522;沙永傑指導教授.
工業工程

晶圓製造廠微影光區再加工策略之探討
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010118

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833440000000690

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 440 7572

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