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化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用

~

曾偉志

化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用

Record Type:	Microfilm : monographic
Author:	王英郎
Secondary Intellectual Responsibility:	馮明憲
Secondary Intellectual Responsibility:	曾偉志
Place of Publication:	台北市
Published:	國科會科學技術資料中心;
Description:	251頁 : 11x15公分;
Subject:	電子工程 -
Notes:	MOE86-0007-8111865-D

化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
王英郎

化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用 / 王英郎撰 ; 馮明憲指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 251頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8111865-D.
電子工程

馮明憲

化學機械研磨在深次微米半導體元件製造之應用
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215 $a 251頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0007-8111865-D
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