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金屬化學氣相沉積與低介電常數材料hsq在積體電路上的應用研究

~

張鼎張

金屬化學氣相沉積與低介電常數材料hsq在積體電路上的應用研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳昇佑
其他作者:	葉鳳生
其他作者:	張鼎張
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	84頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	MOE86-0002-853978

金屬化學氣相沉積與低介電常數材料hsq在積體電路上的應用研究
陳昇佑

金屬化學氣相沉積與低介電常數材料hsq在積體電路上的應用研究 / 陳昇佑撰 ; 葉鳳生指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 84頁 ; 11x15公分.
MOE86-0002-853978.
電機工程

葉鳳生

金屬化學氣相沉積與低介電常數材料hsq在積體電路上的應用研究
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101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 金屬化學氣相沉積與低介電常數材料hsq在積體電路上的應用研究 $f 陳昇佑撰 $g 葉鳳生指導 $g 張鼎張指導
210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
215 $a 84頁 $d 11x15公分
300 $a MOE86-0002-853978
606 $a 電機工程 $3 9918
700 $a 陳昇佑 $4 撰 $3 94079
702 $a 葉鳳生 $4 指導 $3 60345
702 $a 張鼎張 $4 指導 $3 94080
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20000518

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448000000125

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 7563

1.一般(Normal)

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