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林育才
概要
作品: | 8 作品在 8 项出版品 1 种语言 |
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书目信息
化學反應對化學氣相沉積法的影響=the effect of chemical reactions on the modified chemical vapor deposition process
by:
林育才; 私立元智工學院機械工程學系
([NT 13] Microfilm)
高速熱處理中晶圓溫度均勻性之探討=temperature uniformity during rapid thermal processing
by:
元智工學院機械工程學系; 林育才
([NT 13] Microfilm)
, [著]
管壁厚度對改良式化學氣相沈積法的影響=effect of solid layer for the modified chemical vapor deposition process
by:
元智工學院機械工程學系; 林育才
([NT 13] Microfilm)
, [著]
熱輻射在高速熱處理中對晶圓溫度的影響=radiation effect on wafer temperature during rpid thermal processing
by:
元智大學機械工程學系; 林育才
([NT 13] Microfilm)
主题