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概要
書目資訊
主題
Nanoelectromechanical systems - Design and construction.
概要
作品:
2 作品在 1 項出版品 1 種語言
書目資訊
Glancing angle deposition of thin films[electronic resource] :engineering the nanoscale /
by:
(書目-語言資料,印刷品)
Materials and failures in MEMS and NEMS[electronic resource] /
by:
(書目-電子資源)
主題
Nanotechnology.
Nanoelectromechanical systems
Chemical vapor deposition.
Nanoelectromechanical systems
Microelectromechanical systems
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