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均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
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逢甲大學材料科學所
均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
黃獻慶
其他團體作者:
逢甲大學材料科學所
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:
1999
面頁冊數:
156頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE88-1007-M8705357
均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
黃獻慶
均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
/ 黃獻慶 撰 ; 逢甲大學材料科學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 156頁 ; 11x15公分.
MOE88-1007-M8705357.
工程材料
均勻與組成調制氮化鉭薄膜在銅金屬化的擴散阻礙性質評估
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20030521
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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典藏地名稱
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833440300001079
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4420-B V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833440300001080
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4420-B V2
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2 筆 • 頁數 1 •
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