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銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究

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交通大學材料科學與工程所

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	許順發
其他團體作者:	交通大學材料科學與工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	86頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0007-8718511

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究
許順發

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究 / 許順發撰 ; 交通大學材料科學與工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 86頁 ; 11x15公分.
MOE88-0007-8718511.
工程材料

銅導線之鈦及氮化鉭複合層擴散障礙特性研究
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300001003

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 0821-A

1.一般(Normal)

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