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超高真空快熱製程化學反應器之製作與多晶矽、矽鍺碳、氧化層之應用

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台灣大學電機工程所

超高真空快熱製程化學反應器之製作與多晶矽、矽鍺碳、氧化層之應用

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	郭文賢
其他團體作者:	台灣大學電機工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	69頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	MOE88-0003-R87921074

超高真空快熱製程化學反應器之製作與多晶矽、矽鍺碳、氧化層之應用
郭文賢

超高真空快熱製程化學反應器之製作與多晶矽、矽鍺碳、氧化層之應用 / 郭文賢撰 ; 台灣大學電機工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 69頁 ; 11x15公分.
MOE88-0003-R87921074.
電機工程

超高真空快熱製程化學反應器之製作與多晶矽、矽鍺碳、氧化層之應用
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448000002511

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 0707

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