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以二階段退火熱處理控制矽晶片內氧凝聚速率和微缺陷

~

李鴻明

以二階段退火熱處理控制矽晶片內氧凝聚速率和微缺陷

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	李鴻明
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	79頁 :
標題:	工程材料 -
附註:	MOE87-0006-78666017;貢中元指導教授

以二階段退火熱處理控制矽晶片內氧凝聚速率和微缺陷
李鴻明

以二階段退火熱處理控制矽晶片內氧凝聚速率和微缺陷 / 李鴻明撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 79頁.
MOE87-0006-78666017;貢中元指導教授.
工程材料

以二階段退火熱處理控制矽晶片內氧凝聚速率和微缺陷
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010202

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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000575

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 4036

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