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化學氣相沉積介電薄膜特性對記體元件可靠度與cmp製程整合之影響研究
~
林啟發
化學氣相沉積介電薄膜特性對記體元件可靠度與cmp製程整合之影響研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
林啟發
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
165頁 :
標題:
工程材料 -
附註:
MOE87-0007-8518809-D;馮明憲 指導教授
化學氣相沉積介電薄膜特性對記體元件可靠度與cmp製程整合之影響研究
林啟發
化學氣相沉積介電薄膜特性對記體元件可靠度與cmp製程整合之影響研究
/ 林啟發 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 165頁.
MOE87-0007-8518809-D;馮明憲 指導教授.
工程材料
化學氣相沉積介電薄膜特性對記體元件可靠度與cmp製程整合之影響研究
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大葉大學
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20010202
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
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借閱狀態
預約狀態
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附件
833440300000557
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4431-A V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
0
833440300000558
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4431-A V2
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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2 筆 • 頁數 1 •
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