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脈波調變電漿沉積氫化非晶氮化矽以製作全濕蝕刻製程的非晶矽薄膜電晶體

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何佳聲

脈波調變電漿沉積氫化非晶氮化矽以製作全濕蝕刻製程的非晶矽薄膜電晶體

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	何佳聲
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	63頁 :
標題:	工程材料 -
附註:	MOE87-0006-78466011;江雨龍,薛富盛指道教授

脈波調變電漿沉積氫化非晶氮化矽以製作全濕蝕刻製程的非晶矽薄膜電晶體
何佳聲

脈波調變電漿沉積氫化非晶氮化矽以製作全濕蝕刻製程的非晶矽薄膜電晶體 / 何佳聲撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 63頁.
MOE87-0006-78466011;江雨龍,薛富盛指道教授.
工程材料

脈波調變電漿沉積氫化非晶氮化矽以製作全濕蝕刻製程的非晶矽薄膜電晶體
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210 $a 台北市 $c 國科會科學技術資料中心
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300 $a MOE87-0006-78466011;江雨龍,薛富盛指道教授
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010130

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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000470

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3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 2124

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