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基板偏壓對非晶碳氫薄膜微結構、物性影響研究
~
林明樺
基板偏壓對非晶碳氫薄膜微結構、物性影響研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
林明樺
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
106頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE87-0002-863559; 周麗新 指導教授
基板偏壓對非晶碳氫薄膜微結構、物性影響研究
林明樺
基板偏壓對非晶碳氫薄膜微結構、物性影響研究
/ 林明樺 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 106頁 ; 11x15公分.
MOE87-0002-863559; 周麗新 指導教授.
工程材料
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20001121
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
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預約狀態
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833440300000352
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 4464-A V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833440300000353
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
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2 筆 • 頁數 1 •
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