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林立偉
概要
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书目信息
微機電系統校際整合研究-子計劃四:以矽晶體為基材的表面式微機械製程=silicon based surface micromachining
by:
台灣大學應用力學研究所; 林立偉
([NT 13] Microfilm)
以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃二:聚焦環製程優假化及特性分析=process optimization and characerization for fresnel zone pla
by:
台灣大學應用力學研究所; 林立偉
([NT 13] Microfilm)